안녕하세요. 현재 귀사의 제품 중 VC3 Series check valve(VC31U-04T)를 구매하였고, 반도체 공정용 p.gas 평가용으로 사용 예정입니다.


-구성: Gas source > Regulator > Check Valve > Process line

이와 관련하여 아래 사항을 확인하고자 문의드립니다.

1. Check valve가 공정 가스의 역류뿐만 아니라, 가스 내 포함된 수분(H2O Vapor, ppb level)의 역류도 차단할 수 있는지요?
(Process line에서 수분 발생 시 Gas source로의 역류를 Check valve 자체가 완전 차단할 수 있는지.)
2. 반도체용 고순도 Gas line에서 해당 제품 사용시, 수분 제어와 관련된 권장 및 한계 사항이 있다면 안내 부탁드립니다.


상기 내용 확인 후 답변 부탁드립니다. 감사합니다.